郑州正春净化设备有限公司
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河南净化工程公司认为控制设备噪声首先应从声源上着手,设计时应选用低噪声设备。在某些情况下,由于技术或经济的原因而难于做到时,则应从噪声传播途径上来采取降噪措施。例如,把高噪声工艺设备迁出洁净车间或隔离布置于隔声间内。必须置于洁净车间内的高噪声设备,亦可采用隔声罩隔绝噪声。国内有些洁净车间将机械泵一类高噪声设备置于洁净车间外套间,或技术夹道或服务区内,洁净车间噪声有明显的降低。
洁净车间的静态噪声主要来源于净化空调系统和局部净化设备运行噪声,静态噪声的大小与洁净车间气流流型、换气次数等因素有关。但关键在于净化空调系统的合理布置及合理的降噪措施。
排风系统噪声对洁净车间影响极大。以集成电路生产为例,在生产过程中,外延、扩散、腐蚀、清洗等多种工序都需要设排风系统。近年来,对于洁净厂房排风系统噪声治理日益受到重视,注意选用低噪声风机等。
洁净车间的密封性能比较好,噪声不易衰减,由于洁净车间内的工作环境要求比较安静,按规定减少风管风速,既减少了净化空调系统的阻力,降低了风机压头和转速,减弱了风机噪声,又防止了风速过大而产生的附加噪声。
噪声控制
洁净室内的噪声级(空态),非单向流洁净室不应大于60dB(A),单向流、混合流洁净室不应大于65 dB(A)。
洁净厂房的平、剖面设计应考虑控制要求。洁净室的维护结构应具有良好的隔声性能,并使各部分隔声量相接近。
洁净室内的各种设备应选用低噪声产品。对于辐射噪声值超过洁净室允许值的设备,应设置专用隔声设施(如隔声间、隔声罩等)。
净化空调系统噪声超过允许值时,应采取隔声、消声、隔振等控制措施。洁净室内的排风系统除事故排风外应进行减噪设计。
净化空调系统,根据室内容许噪声级要求,风管内风速宜按下列规定选用总风管: 6-10m/s;无送、回风口的支风管为4-6m/s。
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